半導体工場向け搬送システム

半導体工場向け搬送システムとは

半導体工場向け搬送システムとは、半導体工場内で、シリコンウェーハを搬送するシステムです。搬送車の軌道切り替えや、ウェーハ把持用に採用頂きました。

ブラシレスモータ

搬送機サイズを小型化する為、速度制御ドライバー一体型のブラシレスモータを採用頂きました。クリーン環境で使用できるように、モータ内部にウェーハを汚染するようなアウトガスを発生しない潤滑油を使用し、さらにシーリングを施しています。

形状はお客様ご要望のデザインで、カスタマイズしております。


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