用途事例

小型精密电机的未来形象

产品应用

露光装置

  • 可在真空、化学洁净环境使用,对半导体、液晶露光装置的光学元件的位置高精度控制的电机
  • 液晶露光装置的投影光学系列镜头的姿势控制是使用本公司的直线单元电机。
  • 配合曝光平台的凹凸镜头进行扫描。
  • 可在特殊环境中精密定位,高附加价值的直线单元电机。
  • 适应高真空(10^-6Pa)的构造(释放气体的量,释放气体的成分,发热)
  • 机身尺寸长度100mm、直径60mm即使负重50Kg,仍可微指令定位。
  • 无刷电机、带有滚珠花键的滚珠丝杠、低背隙行星式齿轮、配置角度发送器信赖性高的构造。
  • 内置制动器(无励磁动作型),即使在电源关闭的状态下也可支撑50kg。

电子显微镜

  • 实现点分解能达到0.10nm的世界最高分解能,加速电压1,300kV(1,000kV)的超高压电子显微镜。
  • 加速电压高,电子波长缩短,分解能提高。
  • 被使用在世界各国的国家机关研究所,或在大学的生物医学,材料开发等尖端科学的研究上。
  • 载料传送台用电机。配合伺服驱动器实现位置分解能1nm。
  • 被装载在日本最大的电子显微镜(产业综合技术研究所)上。

半导体工厂用搬运系统

  • 搬运车轨道切换,晶片捕捉等被采用。

激光打标机

  • 激光扫描振镜产品是在被限定的角度内摇动(不转动)的电机。安装在出力轴上的镜片可高分辨率定位。

特殊镜片的激光扫描振镜产品

  • 拥有图像处理用各种尺寸镜片扫描相关经验。

涡轮分子泵

  • 涡轮分子泵是机械式真空泵的一种,带有金属制涡轮翼回转体的转子高速旋转,通过弹飞气体分子排气的泵。
  • 30000-40000rpm 转高速旋转。必需有即使高速旋转离心也不会被破坏的强度。
  • 另外,因不能期待空气导热,故是采用了导热率高的密封剂进行密封的内置型无刷电机。

加工用主轴电机

  • 使小径钻头或立式铣刀高速旋转进行加工的主轴电机。
  • 直径φ28和小直径却40000rpm 250W的高功率。
  • 电机内部采用可直接空气冷却的构造,实现高功率。
  • 是VERMAX类型的无刷电机。

假牙加工设备

  • 根据3D摄影取得患者牙齿的数据自动加工假牙,由此缩短治疗时间。
  • 假牙加工用防水功能电机。

美甲电动笔

  • 修指甲用电动笔。
  • 要求高转数(~40000rpm)高扭矩的产品。
  • 西铁城千叶精密高强度成型的空心杯绕阻特有的用途。

机器人用电机

  • 为了减轻机器人的重量,增大了动力重量比。
  • 齿轮,电机,编码器各自薄型化的设计。

光盘相关产品

  • 可吸附光盘转动的电机。转动速度的正确性和机器的精度(RRO,NRRO)都很高。在此行业的初期化及检查设备上几乎都使用的本公司的电机。
  • 激光照射在CD、DVD、BD等的相变型记录媒介的记录膜上,光盘的整个记录面高速结晶化。
  • BCA代码记录设备 记录向DVD/BD盘复制控制用的BCA(Burst Cutting Area)代码。

 

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