ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプとは

ターボ分子ポンプ(ターボモレキュラーポンプ、Turbo Molecular Pump; TMP)とは、機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼で構成されている回転体のロータを高速回転させ、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気します。

 

ビルトイン・ブラシレスモータ

この用途で要求される高速回転に対し、さらになめらかで、低発熱で回転する為、ビルトインにカスタマイズしたブラシレスモータを採用頂きました。

高速(30,000~40,000rpm)で回転する為、ロータが遠心破壊しないように、遠心破壊防止用のケース、もしくはカーボングラファイトにて保護しております。そしてスロットレス構造を採用している為、なめらかに回転します。

また、モータは熱が伝導しない真空環境に置かれる為、熱伝導率の高い特殊モールドを採用し、放熱効率を高めています。

 

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