事例集

小型精密モーターの未来イメージ

シチズン千葉精密のモーター導入事例

露光装置

  • 半導体、液晶露光装置の光学素子の高精度位置制御用モータを真空、発ガス対策できます。
  • 液晶露光装置の投影光学系のレンズの姿勢制御に当社のリニアアクチュエータが使われています。
  • プレートステージの凹凸に合わせてレンズをスキャンさせます。
  • 特殊環境での精密位置決めを可能にする、高付加価値のリニアアクチュエータです。
  • 高真空(10-6Pa)に対応した、構造(放出ガス量、放出ガス成分、発熱)。
  • 長さ100mm、直径60mmのボディサイズで50Kgの負荷があってもμオーダで位置決めが可能です。
  • ブラシレスモータ、ボールスプライン付きボールネジ、バックラッシレス遊星ギヤ、レゾルバを組み合わせた信頼性の高い構造。
  • ブレーキ(無励磁作動型)を内蔵し、電源OFFの状態でも50kgを支える事ができます。

 

電子顕微鏡

  • 点分解能0.10nmの世界最高分解能を実現した加速電圧1,300kV(1,000kV)の超高圧電子顕微鏡です。
  • 加速電圧が高いと電子の波長が短くなり分解能を高められます。
  • 世界各国の国家機関の研究所や大学で、生物医学や材料開発などの先端科学の研究に利用されています。
  • 試料を搭載するステージの送りモータです。サーボドライバと合わせて位置分解能 1nm を実現しています。
  • 日本最大の電子顕微鏡(産業総合技術研究所)にも搭載されています。

 

半導体工場向け搬送システム

  • 搬送車の軌道切り替え,ウェーハ把持用に採用いただいております。

 

レーザーマーカー

  • ガルバノスキャナは限定された角度を揺動する(回転しない)モータです。出力軸に取り付けられたミラーを高分解能位置決めができます。

 

異形ミラーガルバノスキャナ

  • 画像処理用に色々なサイズのミラースキャンも経験があります。

 

ターボ分子ポンプ

  • ターボ分子ポンプ(ターボモレキュラーポンプ、Turbo Molecular Pump; TMP )は機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼を持った回転体であるロータが高速回転し、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するポンプです。
  • 高速回転(30000~40000rpm)で回転します。高速で回転しても遠心破壊しない強度が必要です。
  • また、空気による熱伝導が期待できないため、熱伝導率の高いモールド剤でモールドしたビルトインタイプの高速ブラシレスモータです。

 

加工用スピンドルモータ

  • 小径のドリルやエンドミルを取り付け高速回転で加工するためのスピンドルモータ
  • 直径φ28と小径ながら 40000rpm 250Wの高出力。
  • モータ内部を直接空冷できる構造とすることで高出力を実現。
  • モータはVERMAXタイプブラシレスモータ。

 

義歯加工機

  • 患者さんの歯牙を3Dカメラで撮影して得られたデータから義歯を自動加工します。これにより治療時間が短縮されます。
  • 義歯加工用モータ 防水処理対応品。

 

ネイルアート用ハンドピース

  • 爪磨き用のハンドピースです。
  • 高速回転(~40000rpm)で高トルクが要求される製品です。
  • シチズン千葉精密の高強度に成形されたコアレスコイルならではの用途です。

 

ロボット用モータ

  • ロボット軽量化のためにパワー重量比を大きくしています。
  • ギヤ,モータ,エンコーダをそれぞれ薄型に設計しています。

 

光ディスク関連製品

  • 光ディスクを吸着して回転させることのできるモータです。回転速度の正確さと機械的精度(RRO,NRRO)の高さが求められます。 この業界の初期化及び検査装置はほぼ当社のモータが使用されています。
  • 光ディスク初期化装置
    CD、DVD、BDなど相変化型記録媒体の記録膜にレーザ照射し、ディスクの全記録面を高速に結晶化。
  • BCAコード記録装置
    DVD/BDディスクにコピー制御用の BCA(Burst Cutting Area)コードを記録。

 

ISO認証
弊社は、2つのISOの維持に努めております.
ISO9001:2000
ISO14001:2004
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