电子显微镜是指SEM（扫描电子显微镜）和TEM（扫描透射电子显微镜）。是使用短波长的阴极射线取代光，能够观测到以纳米为单位的物体的显微镜。
全世界最高端的电子显微镜，采用了本公司的交流伺服马达，实现了0.1nm的角分辨率。电子显微镜在世界各国的国家机关、研究所和大学里就生物医学和材料开发等尖端科学的研究、取样中得到了广泛运用。
因高精度定位的还原性，很小的迟滞现象显得非常关键。与伺服驱动器相配合，实现了1nm的方位角分辨率。又重新研发了达到0.1nm角分辨率的线性促动器，成功地实现了机械简易化。
