半导体制造工厂用搬运系统

为使搬运机实现小型化，采用了速度控制和驾驶一体型的无刷电机。为了能够在清洁的环境中使用，采用了不会产生出污染电机内部晶圆的户外气体的润滑油，更是运用了密封技术。照顾客的要求，可以对外形进行定制。