半导体制造工厂用搬运系统

半导体制造工厂用搬运系统是什么

半导体制造工厂用搬运系统是半导体工厂内,搬运硅晶圆的系统。主要服务于搬运车轨道的切换和拿取晶圆。

无刷电机

为使搬运机实现小型化,采用了速度控制和驾驶一体型的无刷电机。为了能够在清洁的环境中使用,采用了不会产生出污染电机内部晶圆的户外气体的润滑油,更是运用了密封技术。照顾客的要求,可以对外形进行定制。


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