晶圆缺陷检测仪

晶圆缺陷检测仪是，用扫描电子显微镜和暗场显微镜等方式对晶圆上附着的异物，电路板上的缺陷进行检测的装置。

半导体晶圆检测设备不会漏过任何微小的异物和缺陷，在光学系统的设计上也非常精巧，只对需要的地方打光，而且还装载了可防止干扰光的光圈的遮光器。

被设计得很精巧的本公司的直线电动机，因在狭小的空间里也可安装数量众多的轴，能应对各种形状和尺寸的光圈。另外，因直接驱动可完成高速运转，非常适合高吞吐量要求的半导体生产流水线。