晶圆缺陷检测仪

晶圆缺陷检测仪是什么

晶圆缺陷检测仪是,用扫描电子显微镜和暗场显微镜等方式对晶圆上附着的异物,电路板上的缺陷进行检测的装置。

直线电机

半导体晶圆检测设备不会漏过任何微小的异物和缺陷,在光学系统的设计上也非常精巧,只对需要的地方打光,而且还装载了可防止干扰光的光圈的遮光器。

被设计得很精巧的本公司的直线电动机,因在狭小的空间里也可安装数量众多的轴,能应对各种形状和尺寸的光圈。另外,因直接驱动可完成高速运转,非常适合高吞吐量要求的半导体生产流水线。

 


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