半导体/FPD曝光装置

曝光装置是制作印刷电路板的装置。虽有很多的种类，其中FPD曝光装置和半导体曝光装置采用了本公司的线性促动器。

FPD是指智能手机、平板电脑、超薄电视产品中经常被使用的平板显示器。FPD曝光装置是对玻璃板上具有被称为TFT的调色功能等的电路进行曝光。

而半导体曝光装置是在对被称为硅晶圆的由硅制作而成的板上曝光电子电路的装置。

因上述的装置都是在以纳米为单位的极小的电路板上做雕刻，所以都是由高度精密的部件制作而成。

本公司使用交流伺服电机而制成的具有高推动力又小巧的线性促动器在静止状态时发热量极低，常被用于不会因为温度变化而受到影响的制品上。而且实现了高精度位置的再现性和对应性。经过多次周密详细的商讨，包含对应周边设备在内的定制方案也有被采用。

对于FPD曝光装置，在实现被要求能应对高速扫描的持久性的同时，从第二代显示器到最新大型显示器都被广大顾客认可并使用。而且为在有环保要求的曝光装置内能被使用，本产品也具有低排气性和可在无尘室使用的性能。

此外，在其他一些部分也采用了无铁芯电机，无刷电机和交流伺服电机等技术。