電子顕微鏡

電子顕微鏡とはSEMやTEMと呼ばれる顕微鏡のことで、光の代わりに波長の短い電子線を利用して、数nm(ナノメートル)位のモノまで観察することができる顕微鏡のことです。

世界最高の電子顕微鏡で、弊社のACサーボモータを採用頂き、 0.1nmの点分解能を実現しています。世界各国の国家機関の研究所や大学で、生物医学や材料開発などの先端科学の研究や、試料を搭載するステージ駆動に使用されています。

高い位置決め再現性のために、小さいヒステリシスが重要です。サーボドライバと合わせて、位置分解能1nmを実現しています。新たに0.1nm分解能のリニアアクチュエータを開発し、機構の簡素化に成功しました。