ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプとは
ターボ分子ポンプ(ターボモレキュラーポンプ、Turbo Molecular Pump; TMP)とは、機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼で構成されている回転体のロータを高速回転させ、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気します。 |
ターボ分子ポンプ(ターボモレキュラーポンプ、Turbo Molecular Pump; TMP)とは、機械式真空ポンプの一種で、金属製のタービン翼で構成されている回転体のロータを高速回転させ、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気します。 |