ウェーハ欠陥検査装置

ウェーハ欠陥検査装置とは、ウェーハ上に付着した異物や、回路パターンの欠陥を、SEM式や暗視野式などの手法を用いて検出する装置です。

微細な異物や欠陥も見逃せない半導体ウェーハ検査では、光学系にも様々な工夫がされており、必要な箇所にのみ光を当てる、または外乱光を防ぐアパーチャフィルタのシャッター機構に採用頂きました。

コンパクトに設計された弊社のリニアモータは、狭い空間に複数軸設置することが出来る為、様々な形やサイズの絞り方を行う事が可能になります。また、ダイレクト駆動で高速動作が可能な為、高いスループットが求められる半導体製造ラインに適しています。