露光装置とは、回路パターンを焼き付ける装置のことです。色々な種類がありますが、弊社のリニアアクチュエータはFPD露光装置と、半導体露光装置に採用されております。 FPDとはスマートフォンやタブレット端末、薄型テレビでおなじみのフラットパネルディスプレイ(Flat Panel Display)のことで、ガラスプレート上にTFTと呼ばれる色を調整する機能などの回路を露光するのがFPD露光装置です。 また半導体露光装置とは、シリコンウェーハというシリコンで出来た板に、電子回路パターンを露光する装置です。 どちらもナノメートル(nm)という極めて小さな回路パターンを刻む為、高精度な部品で構成されています。
ACサーボを使用した高推力ながらコンパクトな弊社のリニアアクチュエータは、静止時の発熱が低く、温度変化を嫌う場所へも多く使用できます。さらに高い位置再現性や応答性を実現。綿密な打ち合わせを重ね、周辺機器を含めカスタマイズし、採用頂きました。
FPD露光装置向けでは、要求される高速スキャンに耐える高寿命化を同時に実現し、第二世代パネルから最新の大型パネルまで長らくご愛用頂いております。また環境性能が求められる露光装置内で採用頂けるよう、低アウトガス対応、クリーンルーム対応の用意もございます。 この他にも、さまざまな部分にて、コアレスモータ、ブラシレスモータ、ACサーボモータなども採用頂いています。
